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PI(Physik Instrumente)P-734 XY壓電掃描儀 通光孔徑56毫米 × 56毫米 電容式傳感器可實現(xiàn)小于0.4納米的分辨率 PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命
PI PicoCube XY(Z)壓電掃描儀-北京漢達森 自動配置和快速部件更換 機械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲在機械部件的SubD連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動時,數(shù)字控制器的自動校準(zhǔn)功能就會使用這些數(shù)據(jù)。
*PI PicoCube XY(Z)壓電掃描儀 并聯(lián)測量技術(shù)可實現(xiàn)導(dǎo)向誤差的自動化 補償 分辨率50皮米 行程5微米×5微米×5微米 真空兼容版本
德國PI PicoCube XY(Z)壓電掃描儀 X、Y向上的串?dāng)_(Z向運動) 5 - 納米 機械特性 X、Y向上的空載諧振頻率 3.1 4.2 千赫茲 Z向上的空載諧振頻率 9.8 - 千赫茲